一、半导体加工的介绍
半导体产品要求非常洁净，要做到无污染。在生产半导体产品时，对环境要求很高，一般都在严格要求的无尘车间，生产人员要穿防静电服。
半导体产品是非常精细的产品，有些产品厚度超薄，只有零点几毫米，甚至更薄，所以要求轻拿轻放。在加工和各项处理中，对接触半导体零件的各种夹持工具，装夹工具和器皿都有很高的要求，主要是不污染半导体零件，同时这些工装夹具也要能经受各种酸，碱和热处理的考验，做到经久耐用。
二、半导体用的陶瓷机械手臂的介绍
机械手臂材料：一般选用99氧化铝陶瓷居多。
氧化铝陶瓷属于结构陶瓷，硬度仅只次于金刚石，而且其耐磨性远超钢和铬钢。氧化铝陶瓷具有耐高温、耐磨损、耐腐蚀、摩擦系数低、重量轻的特性，最高使用温度可达1600℃，适用于半导体行业。
陶瓷机械手臂名称来由：氧化铝陶瓷机械手臂又称氧化铝陶瓷牙叉、晶圆传输末端执行器，是由氧化铝陶瓷制成的零件，安装在晶圆搬运机器人上，相当于机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置，其表面直接与晶圆接触。氧化铝陶瓷机械手臂重量轻，能有效减轻设备负荷，提高设备使用寿命。
陶瓷机械手臂的类型：氧化铝陶瓷机械手臂有夹持式、承载式、真空吸附式、伯努利西式。
高纯度氧化铝粉喷雾造粒后，将造粒圆球经过干压成型形成胚体。胚体冷等静压成型后从容器内取出，利用高温将坯体内颗粒间空洞排除，使颗粒状陶瓷坯体致密化并形成固体。用旋转砂轮对陶瓷体进行平面加工磨削处理，去除表面的氧化层和杂质。通过内外圆加工的方式，对陶瓷件的表面进一步磨削。用CNC数控机床对陶瓷零件进行精加工，保证陶瓷件的精度和表面粗糙度。
陶瓷机械手臂的结构和作用： 机械手臂里面有气孔和通气槽，在抽气时候，能形成真空，从而吸附半导体零件，做到轻接触，不会夹伤，不会碰伤半导体零件薄片。
三、与金属手臂相比，用陶瓷手臂装夹半导体零件的优点：
1、陶瓷机械手臂比金属手臂更耐酸腐蚀，更耐碱腐蚀。在半导体各项处理时，使用寿命更长；
2、陶瓷机械手臂不容易跟其它物质发生反应，不会在接触物品上留下具有污染的细小颗粒和带电的电荷，不会产生金属离子，不会污染半导体零件；
3、在半导体进行热处理时，陶瓷机械手臂受热变形也少，减少半导体零件在热处理时的变形；
陶瓷材料的应用，不仅可以做成抓取装夹半导体零件的机械手臂。根据陶瓷绝缘，耐高温，不怕酸，不怕碱，性能稳定的特点，不污染接触产品的特性，可以做成其它在严苛的环境中使用的零件，可以做成金属和塑料无法胜任的地方。
